Nanotechnologie und Nanoprozesse

Das Buch ist eine kompakt aufbereitete, didaktische Zusammenstellung der Nanotechnologie auf ihrem aktuellen Stand. Nach einem kurzen Abriss uber die historische Entwicklung beschreibt das Werk die Verfahren zur Herstellung und Charakterisierung von wenige Nanometer groen Strukturen, leitet uber zu deren (elektrischen) Anwendungen und den physikalischen Messmethoden zur Bestimmung der Eigenschaften von Nanodefekten, -schichten und -partikeln und erlautert schlielich alle wichtigen Praparationstechniken, die heute in der Nanotechnologie zur Verfugung stehen. Auf der Grundlage von gesicherten Fakten werden dabei eine Bewertung der Nanotechnologie, eine Abschatzung ihrer weiteren Entwicklung und ein Ausblick auf ihre Zukunftsaussichten gegeben. In dieser zweiten Auflage wird gezeigt, wie sich die Herstellungsverfahren und die auf Nanotechniken beruhenden Bauelemente weiter entwickelt haben. Groe Fortschritte sind in den Strukturierungsverfahren erzielt worden. Die apparative Weiterentwicklung der fokussierten Ionenstrahlen ermoglicht sowohl neuartige Bauelemente auf Feldeffektgrundlage als auch Anwendungen in der zerstorungsfreien Mikro- und Nanomikroskopie. Das Kapitel zum Nanoimprint wurde um die Diskussion der Softlithographie erweitert. Neben rein anorganischen Materialien wird der Blick auf Anwendungen mit organischen Werkstoffen gelenkt. Das Kapitel uber die auf Nanostrukturen beruhenden innovativen elektronischen Bauelemente wurde wegen der Flut von neuen Entwicklungen neu geschrieben. Ausgewahlte Schwerpunkte sind dabei Nanopartikel-Feldeffekttransistoren, Bauelemente auf der Basis von Nanorohren und Solarzellen.